乍一看光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)很接近，可是光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)卻不混為一談，由于刻蝕僅僅制造芯片其中之一的步驟而已。而刻蝕機(jī)只不過是眾多芯片制造設(shè)備其中之一。下邊在這里給大家聊一下蝕刻機(jī)。
蝕刻機(jī)和光刻技術(shù)其實也就是截然不同的二種機(jī)器設(shè)備，不論從作用或是在結(jié)構(gòu)上而言都是天壤之別，光刻技術(shù)是芯片制造過程里為中心的機(jī)器設(shè)備，芯片制造是通過光刻技術(shù)所決定的，而非蝕刻機(jī)。
從原理來看光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)。
如果將制造芯片比作建房子，那樣光刻技術(shù)的作用是把房子的結(jié)構(gòu)標(biāo)明在地板上。蝕刻機(jī)便是在光刻技術(shù)進(jìn)行之后才登場的機(jī)器設(shè)備，都是光刻技術(shù)進(jìn)行之后尤為重要的機(jī)器設(shè)備之一。蝕刻機(jī)主要的的作用是依照光刻技術(shù)早已標(biāo)明好的線去做基礎(chǔ)建設(shè)，把沒有用的地區(qū)給清理掉，只留光刻技術(shù)環(huán)節(jié)中標(biāo)明好一點的路線。
從在結(jié)構(gòu)上看來光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)。
光刻技術(shù)的重要的關(guān)鍵技術(shù)便是燈源和激光光路，其燈源和激光光路的重要構(gòu)成部分有四個，燈源、曝出、檢驗、和其它高精密機(jī)械制造構(gòu)成。對比下，蝕刻機(jī)的構(gòu)造構(gòu)成就需要簡單一些，通常是等離子頻射源、反映室和真氣體路等構(gòu)成。